覆層厚度的測量方法主要有：楔切法、光截法、電解法、厚度差測量法、稱重法、X射線熒光法、β射線反向散射法、電容法、磁性測量法及渦流測量法等。這些方法中前五種是有損檢測，測量手段繁瑣，速度慢，多適用于抽樣檢驗。

X射線和β射線法是無接觸無損測量，但裝置復(fù)雜昂貴，測量范圍較小。因有放射源，使用者必須遵守射線防護規(guī)范。X射線法可測薄鍍層、雙鍍層、合金鍍層。β射線法適合鍍層和底材原子序號大于3的鍍層測量。電容法僅在薄導(dǎo)電體的絕緣覆層測厚時采用。用于測定材料本身厚度或材料表面覆蓋層厚度的儀器。

智能高精度測厚儀有些構(gòu)件在制造和檢修時必須測量其厚度，以便了解材料的厚薄規(guī)格，各點均勻度和材料腐蝕、磨損程度；有時則要測定材料表面的覆蓋層厚度，以保證產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)安全。根據(jù)測定原理的不同，常用測厚儀有超聲、磁性、渦流、同位素等四種。

用于測定薄膜、薄片等材料的厚度，測量范圍寬、測量精度高，具有數(shù)據(jù)輸出、任意位置置零、公英制轉(zhuǎn)換、自動斷電等特點。用人工卡量方式測量板厚，存在著測量精度差，測量點少（每塊鋼板只測量一個點），測量速度慢等缺點。在惡劣的現(xiàn)場環(huán)境下，操作人員用此法測量時勞動強度大，危險性高，生產(chǎn)效率受到很大的影響。多年來，雖然實施過很多其它方法，如機械測量法，微量元素放射性測量法等，但都不十分理想，不是測量精度太低，就是對環(huán)境及人身造成危害，所以就都棄之不用。